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《大國之(zhī)材》原創文章(zhāng)，轉載請聯系(xi)微信：EILIG2014
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圖片：受(shòu)訪人提供、圖(tú)蟲創意
早在(zai)1842年，科學家格(gé)波夫就在實(shi)驗室中發現(xiàn)了陰極濺射(she)現象，但由于(yú)人們對濺射(she)技術缺乏深(shen)入了解♍，商業(yè)化的磁控👈濺(jiàn)射設備直到(dao)1970年才逐漸應(ying)用于實驗室(shì)和小型生産(chan)。
20世紀80年代以(yǐ)後，随着以集(jí)成電路、信息(xi)存儲、液晶顯(xian)示器♊、光存儲(chu)器、電子控制(zhì)器為主的電(diàn)子與信息産(chǎn)業開始進入(ru)高👣速發展時(shi)期，磁控濺射(she)技術才從實(shi)驗室應用真(zhen)正進入工✉️業(yè)化規模生産(chǎn)應用領域。
然(rán)而，直到21世紀(ji)初，中國的靶(ba)材仍高度依(yī)賴進口，國内(nei)竟無一👉家企(qǐ)業能夠提供(gong)高純金屬靶(bǎ)材，市場被日(ri)立金屬💁、TDK等海(hai)🛀外企業完全(quan)壟斷。
彼時，剛(gang)剛經曆轉企(qǐ)改制的有研(yán)集團正在尋(xun)找産業化🥰落(luo)地的項目，經(jing)過一年多時(shí)間的調研，有(yǒu)研團🎯隊将目(mù)标🌐對準了高(gao)純金屬靶材(cái)。
據全程參與(yu)研發的現任(ren)回憶，當時業(ye)内對有研的(de)選擇反響并(bing)不積極，很多(duo)人根本不相(xiàng)信中國人還(hái)能生産半導(dǎo)體、集成電路(lu)用靶材。
三年以(yi)後，有研的靶(ba)材進入市場(chǎng)，并獲得客戶(hù)的基本認可(kě)，産品🌐開始走(zǒu)向正軌。
2012年，有(you)研成為批進(jìn)入國家重大(da)專項的企業(ye)，參與了02專項(xiàng)（集‼️成電路）後(hou)期的所有項(xiàng)目。在項目的(de)助力下☁️，憑借(jiè)對金🔞屬材料(liào)的🌂深刻理解(jiě)和材料學的(de)長期積累，有(yǒu)研成功突破(pò)了集成電路(lu)靶材從材料(liao)到制品🙇♀️的全(quan)套技術，讓國(guó)産♈高純金屬(shǔ)靶材達到了(le)國際先㊙️進水(shuǐ)平，并擁有全(quán)部自主知識(shi)産權。
用王興(xing)權的話說：“現(xian)在的有研可(kě)以跟國際上(shàng)任何微電子(zi)材料大公司(sī)平等的♻️進🌈行(hang)市場對話和(he)技術對話。”
01
打(da)破國外靶材(cai)主導地位指(zhi)日可待
《大國(guó)之材》：您覺得(de)我們國内的(de)高純金屬靶(bǎ)材目前的發(fa)展水🌂平處💛于(yú)什麼🏃樣的位(wèi)置？我們存在(zai)哪些發展痛(tong)點？
王興權：我(wo)個人認為在(zài)微電子靶材(cai)這塊，中國應(ying)該屬于第二(er)梯🔴隊，梯隊仍(réng)然是日本的(de)GX公司和美國(guó)的霍尼爾等(děng)公💘司。在過去(qù)十幾💞年裡📱，中(zhōng)國的微電子(zǐ)靶材從零開(kai)始，能發展到(dào)目前的水平(ping)，應該說成果(guǒ)是非常顯著(zhe)的。
當前的行(háng)業痛點問題(ti)已經不明顯(xiǎn)了，國内的微(wēi)電🔴子靶材基(ji)💁本已經與國(guo)際領先企業(ye)處于同一競(jìng)争水平。原來(lái)談到痛點，可(ke)以說渾身都(dōu)是痛，關鍵指(zhi)标不清、核心(xīn)技術不通、市(shi)場認可度低(di)、人才隊伍缺(quē)乏、原材料受(shou)制于人等等(děng)，都是我🈲們曾(ceng)經經曆的痛(tòng)點。
但是國内(nei)的微電子靶(ba)材發展到今(jin)天，原來的錐(zhuī)心💜之痛已經(jing)不存在了。但(dan)是，我們畢竟(jing)處于第二梯(ti)隊，更全㊙️面的(de)描述當前國(guó)内微電子靶(bǎ)材的發展水(shuǐ)平，我認為🐇是(shi)多數跟從，部(bu)分平起，個别(bié)超🚶♀️越。
《大國之(zhī)材》：有研新材(cái)近幾年高純(chun)金屬靶材的(de)市場營收增(zēng)顯著，您分析(xi)主要是哪些(xiē)原因？
王興權(quán)：我覺得高純(chun)金屬靶材的(de)業績增長主(zhǔ)要取決于三(san)🐅個因素。首先(xiān)是大勢，在過(guo)去的20年裡邊(bian)，中國的集成(chéng)電子領域是(shì)一☎️個穩步增(zēng)長的發展階(jiē)段，中芯國際(jì)等優勢企業(ye)像😘雨後春❓筍(sǔn)般湧🔞現出來(lái)。
全球的微電(diàn)子領域，年平(píng)均的發展速(su)度大約為4%到(dào)🈲5%，但是🐆在過去(qu)的20年内，中國(guo)微電子領域(yù)一直都保持(chí)在13%到🌈14%的發展(zhan)水🔞平。沒有微(wei)電子領域的(de)快速發展，就(jiu)不可能有相(xiang)關☀️的領域裝(zhuāng)備和材料的(de)進步。
其次，有(you)研科技集團(tuán)（原有色金屬(shǔ)研究總院）主(zhǔ)要從🐅事㊙️有色(se)金屬領域的(de)共性技術開(kāi)發，經過六十(shi)多年的積澱(dian)，我㊙️們擁🚩有大(da)量金🥵屬材料(liào)制備和加工(gong)技術，對金屬(shǔ)材料的理解(jie)非常透徹。這(zhe)些積累為我(wo)們在微電子(zǐ)材料領域的(de)技術開發和(he)提升提供了(le)巨大🚩支撐。
當(dāng)然，關鍵的一(yī)點，是有研人(rén)的努力和堅(jian)持，是一種👈産(chǎn)業情懷或者(zhě)說國家情懷(huái)，一種我們中(zhong)國人必須做(zuò)得出、做得好(hǎo)的勁頭。
在我(wǒ)們剛剛進入(rù)這個領域的(de)時候，範圍内(nei)沒有人做微(wēi)電子靶☔材，甚(shen)至做集成電(dian)路相關材料(liào)的企業✌️都非(fei)常少，那時候(hou)靶材被霍尼(ni)韋爾、東曹、威(wei)廉姆斯、優美(mei)科、日礦等國(guó)外企業壟斷(duàn)，中國當時也(ye)有幾家公司(sī)和科研機構(gòu)想進入這個(ge)🤟領域，但受制(zhi)于技術門檻(kǎn)和市場💘門檻(kǎn)，有些單位進(jin)來又退出了(le)，有些單位發(fa)展止步不前(qián)，國産靶材行(hang)業發展起起(qi)伏伏。在這中(zhōng)間，有研新材(cái)🛀得益于長期(qī)的堅持和持(chi)續投入。
當然(rán)，國家的重視(shì)和支持為我(wo)們的發展提(ti)供了強大支(zhī)撐。
《大國之材(cai)》：2018年靶材市場(chǎng)規模的增速(su)達到30%，在半導(dǎo)體方面，增速(sù)達到60%。随着5G應(yīng)用趨勢的到(dào)來，微電子靶(bǎ)材的格局會(huì)發生🈲哪些變(biàn)化？
王興權：我(wǒ)認為打破國(guó)外企業占主(zhu)體的局面，指(zhi)日可待。現在(zai)國内的靶材(cái)企業在國際(ji)範圍内競争(zheng)，從技術到管(guǎn)理再到市場(chang)占有率，已經(jing)沒有明顯的(de)劣勢，尤其是(shi)在國内市場(chang)方面，這幾年(nian)全球集成電(diàn)路的産業布(bu)局向中國大(da)陸在轉移。從(cóng)區域發展來(lái)看，中國大陸(lù)的發展速度(du)會遠遠高于(yu)歐美、東南亞(yà)、日本、中國台(tai)灣等其他地(di)區。在市場交(jiāo)互和本地化(huà)服務方面，國(guo)内企業具備(bei)獨特的地緣(yuan)優勢。
但值得(dé)注意的是，從(cong)新品開發的(de)角度來看，目(mu)前絕大多數(shù)新産⭐品仍出(chū)自國外企業(yè)，尤其是日本(ben)的JX公✔️司，占有(you)靶💁材新⛱️品約(yuē)60%的份額，一直(zhi)保持着技術(shu)原發性優勢(shì)，在未來市場(chǎng)中自然也會(huì)居于主導地(dì)位，因此我們(men)在一段時間(jian)内可能還是(shi)跟從的狀态(tài)。
但新技術的(de)引入，尤其是(shì)5G技術的普及(ji)将是一個非(fei)常㊙️好的契機(ji)。随着集成電(diàn)路的線寬越(yuè)來越窄，對材(cái)料提出了更(geng)高的需求，原(yuan)來的材料組(zu)分、純度、組織(zhī)結構已不足(zú)以支撐集成(chéng)電路技術指(zhi)标的躍升。有(yǒu)研新材對材(cái)料的理解是(shi)非常深的，對(duì)材料元素的(de)🚶控制、材料行(háng)為控制和組(zǔ)織結構控制(zhi)是我們的強(qiáng)項。這就給了(le)我🌈們一次突(tu)破老産品的(de)固定格局，大(dà)家站在同一(yī)起跑線上的(de)機會。在新産(chǎn)品框架下，我(wo)們的材料技(jì)術優勢将發(fā)揮得更淋漓(li)盡緻。
另外，随(suí)着電子信息(xī)技術的發展(zhǎn)和應用領域(yu)的拓寬，芯片(piàn)的特殊功能(néng)性需求越來(lái)越高，比如未(wèi)來一✌️些芯片(piàn)制程中對材(cái)料的磁性能(neng)、熱效應、相變(bian)反應、壓電效(xiào)💁應等方面提(ti)出特殊需😍要(yào)，很可能已超(chao)越了單質材(cai)料的物理極(ji)限，這時就㊙️需(xū)要靠特種合(he)金材🔆料、複合(hé)材料或不同(tong)材料的複合(hé)工藝💛才能滿(man)足性能需求(qiu)，這就涉🥵及到(dào)材料性質與(yǔ)功能的關聯(lián)，涉及🌈到材料(liào)的設計。這時(shí)，誰在材料技(ji)術方面積澱(diàn)深厚⛹🏻♀️，誰在功(gong)能材料開發(fā)方面能力強(qiang)，誰就🙇🏻能抓住(zhu)微電子産業(ye)的發展機遇(yu)，誰就能成為(wéi)未來的領跑(pao)者。
有研新材(cái)辦公樓
02
《大國之材(cái)》：有研新材目(mù)前在新材料(liào)領域所處的(de)一個行業地(di)位如何？
王興(xìng)權：談到在新(xin)材料領域的(de)行業地位，由(yóu)于有研新材(cai)的産業覆蓋(gài)領域比較廣(guǎng)，需要細分來(lái)說，總結起來(lai)我們叫“電磁(ci)光醫🔅”四大㊙️闆(pǎn)塊引領發展(zhǎn)。
在微電子薄(báo)膜材料領域(yu)，目前我們的(de)全球市場占(zhàn)有率大概5%，數(shù)字并不大，但(dan)這個5%的内涵(hán)很重要，可以(yǐ)分三個維度(dù)來看。
一是從(cong)市場維度來(lái)看，我們目前(qián)以國内客戶(hu)為主，國内的(de)客戶覆蓋率(lǜ)接近100%，也就是(shi)說國内幾乎(hu)所有微電子(zi)企業都會用(yong)到有研新材(cái)的材料。
二是(shi)從産品覆蓋(gài)維度來看，我(wǒ)們自己内部(bu)一種說法叫(jiào)“全💃🏻餐”。隻要是(shi)微電子領域(yù)用的金屬薄(báo)膜材料，無論(lùn)🌈是濺射靶材(cái)還👨❤️👨是蒸發材(cái)料，所有的材(cái)料品種、所有(you)的産品型号(hao)有研新材都(dou)📞有。
在微電(dian)子薄膜材料(liào)領域，有研新(xin)材已經是國(guó)内行業龍頭(tóu)，技術優勢、人(rén)才優勢、市場(chǎng)優勢已經形(xíng)成。
在紅(hóng)外光學材料(liào)方面，有研一(yī)直掌握着行(hang)業引領性技(jì)🥵術🔞，中💞國的根(gen)鍺單晶就出(chu)自我們之手(shǒu)，目前有研新(xīn)材是國内大(da)的紅外📞鍺單(dan)晶和二六族(zu)晶體生産企(qǐ)業。
在生物醫(yī)用材料方面(mian)，中國根牙弓(gong)絲、支食道支(zhī)架、支膽道支(zhi)架、支前列腺(xian)支架等等，都(dōu)是由我們出(chū)品的。
《大國之(zhi)材》：公司對未(wèi)來市場的布(bu)局，有哪些新(xin)的舉措？
王興(xìng)權：我們從現(xian)在的戰略維(wéi)度上來看，還(hai)是圍繞“電磁(ci)光醫😘”這🌈四📞個(ge)闆塊，這四個(ge)闆塊有不同(tóng)的定位，其資(zī)源配置方式(shì)和發展模式(shì)也不同。
電子(zǐ)薄膜材料闆(pǎn)塊是有研新(xīn)材的核心業(yè)務闆塊，也是(shì)未來重點發(fā)展的産業領(lǐng)域。公司将持(chi)續加大在這(zhè)一領域的資(zī)源配置力度(du)，不斷優化産(chan)業布局，壯大(dà)産業規模，并(bìng)終成為全球(qiu)領先的微電(dian)子薄膜材料(liao)和相關服務(wu)的提供者。
稀(xī)土領域，我們(men)将大力推動(dong)稀土綠色清(qing)潔選冶技術(shù)，提供行業服(fú)務，助推我國(guó)稀土産業的(de)良性發展，同(tong)時充分發揮(hui)全産業鍊技(jì)術優勢，發展(zhǎn)特種磁性材(cai)料産業。
特種(zhong)光學材料領(ling)域，繼續保持(chi)行業領頭羊(yang)的位置，充分(fèn)發揮核🏃心材(cai)料優勢，适度(du)延伸産業鍊(lian)。